中国科学院上海微系统与信息技术研究所

  上海微系统所自新中国成立以来已获得国家级奖励50余项、部委省市级奖励330余项。本所于50年代在国内率先研制成功球墨铸铁，并成功解决了包头高含氟铁矿的冶炼和稀土元素回收问题；60年代初研制成功用于浓缩铀235的关键部件“甲种分离膜”，该项目负责人吴自良院士作为“两弹一星”功臣之一于1995年受到党中央、国务院和中央军委的表彰；60年代以后，本所又在国内率先建立了超纯金属和III-V族化合物半导体材料研究基地和发展了微电子和集成电路制造技术，与工业部门合作研制出国内第一块工业实用PN结隔离集成电路、ECL高速电路、国内第一块8位、16位微处理器等微电子器件，80年代中期利用微电子技术基础开展了微电子机械系统（MEMS）和SOI材料的研究，90年代末和20世纪初开展了低轨卫星通信技术、无线传感器网络和新一代移动通信技术的研究，为国民经济发展、国家安全和社会进步作出了重大贡献。

1998年5月，上海微系统所首批进入中国科学院知识创新工程试点序列，经对科技活动目标进一步凝炼，确定将本所建成一个以集成微系统为核心科技活动方向的、基础技术力量雄厚的、富有持续创新活力的、开放的、国内一流和国际知名的研究所。本所以国家需求为导向，围绕“电子科学与技术”、“信息与通信工程”两大学科方向，利用本所在功能材料与器件研究方面的积累和微电子工艺技术平台为支持，以“无线传感微系统网、微系统技术平台、新一代移动通信技术”几个重大项目为依托，以系统带器件、器件带材料，加强原始创新，加强关键技术创新与集成研究，开展低轨通信小卫星及星座系统、集成微光机电系统、无线信息微系统、半导体微结构材料与器件、太赫兹物理与器件、纳电子材料与器件、SOI材料与器件、新型、高效微能源系统等研究活动。目前全所共有5个研究室：传感技术联合国家重点实验室/微系统技术国家级重点实验室、信息功能材料国家重点实验室、半导体功能薄膜工程研发中心/纳米技术实验室、微系统信息网研发中心、能源科学与技术研究室；3个与地方共建的中心：中国科学院上海小卫星工程部、上海无线通信研究中心、中科院嘉兴中心微系统所分中心。上海微系统所拥有硅MEMS加工和封装，化合物半导体材料MBE生长和半导体器件研制，微系统网络设计、测试等技术平台，以及微系统、微结构器件，半导体微结构材料的研究设备和研究能力。  全所现共有职工451名，其中科研和技术人员281名，3名中国科学院和中国工程院院士，正副研究员99名。此外，全所共有318名在读研究生，47名博士后及客座研究人员。全所职工正为把我所办成国际知名、国内一流的科研院所而不懈努力。

上海微系统所与国内外学术界有着广泛的联系。1978年以来，已有二十多个国家的科学家来我所访问，同时，本所许多科研人员出国考察、参加学术会议、进行合作研究，并与国外多个大学、研究机构、企业建立了合作关系。

封松林同志

封松林同志生于1964年4月，湖南省邵东人，1983年1月加入中国共产党，1983年7月参加工作，法国巴黎第七大学材料科学专业研究生毕业、博士、研究员。

1992年－2000年12月为中国科学院北京半导体所副研究员、研究员（1995.10起）、所长助理、副所长（97.10月起）、博导、兼任所半导体超晶格国家重点实验室副主任、主任。2001年1月起任中科院上海微系统与信息技术研究所副所长、研究员、博导。2002年5月起任所长。兼任中科院微系统研发中心主任，国家863专家，973项目专家组成员等。

王曦同志

王曦同志生于1966年8月，上海人，1993年7月参加工作，中科院上海微系统与信息技术研究所材料物理研究生毕业、博士、研究员。

1993年－1994年为中科院上海微系统所助理研究员。（其中：1993年7月－1994年5月赴澳大利亚访问学者）。1994年－2002年历任中科院上海微系统所副研究员、室副主任、研究员、室主任。（其中：1996年5月－1998年6月赴德国访问学者）。2002年起任中科院上海微系统所所长助理兼室主任，兼上海新傲公司经理，研究员。2003年起任上海微系统所所长助理兼新傲公司经理，研究员。2004年4月起任上海微系统所党委副书记兼副所长，兼上海新傲公司经理，研究员。2007年1月起任上海微系统所党委书记兼副所长,兼上海新傲公司经理，研究员。

齐鸣同志

齐鸣同志生于1957年11月，辽宁锦州人，1984年11月加入中国共产党，1975年10月参加工作，西安交通大学电子工程系半导体器件与微电子学专业研究生毕业，博士，研究员。

1993年—1995年为中科院上海微系统所博士后、副研究员、室党支部书记、室副主任。1995年12月—1997年8月任所长助理兼中外合资上海爱立信—新泰电子有限公司副总经理、研究员。1997年8月—1999年3月任中科院上海微系统所所长助理兼信息功能材料国家重点实验室主任、党支部书记、所党委委员（98.1起）、博士生导师（98.1起）。1999年3月起任所长助理兼业务处处长（至2000.5）、信息功能材料国家重点实验室主任（至2004.10）、所党委委员、研究员、博士生导师。1999年12月起任副所长，2004年4月起兼任纪委书记。

杨根庆同志

杨根庆同志生于1952年2月，浙江省宁波人，中科院上海微系统与信息技术研究所半导体物理与半导体器件物理研究生毕业，研究员。

1984年－1989年为中科院上海微系统所助理研究员。（其中：1985年－1986年意大利国立核物理研究所访问学者，1988年－1989年匈牙利中央物理研究院访问学者）。1989年—1995年任中科院上海微系统所副研究员、室副主任、研究员、博导。1995年12月起任中科院上海微系统所所长助理兼传感技术联合国家重点实验室主任、所党委委员（98年1月起）。1999年起兼任中科院“创新一号”存贮转发小卫星项目副经理兼总设计师。2002年5月起任副所长。

刘海涛同志

刘海涛同志生于1968年3月，新疆吉昌人，1994年6月加入中国共产党，1994年6月参加工作，1998年中科大研究生毕业，博士、研究员。

1998.7—2002.10任所“创新一号”通信小卫星项目分系统主任设计师，副研究员、研究员；2002.10--2003.5任所科研开发处处长；2003.5--2004.5任所科研开发处处长兼四室主任2004.5--2007.6任所所长助理。2007.6--至今任副所长。

赵建龙同志

赵建龙，男，汉族，江苏张家港市人，1969年3月出生，1997年7月参加工作，1998年3月加入中国共产党，博士研究生毕业。1987．7—1992．7清华大学电子工程系本科生。1992．7—1997．7上海微系统所硕博连读。1997．7—至今任中科院上海微系统与信息技术研究所（原上海冶金所，以下简称“上海微系统所”）二期创新项目“DNA生物芯片”课题组长、研究员,2004年7月担任科技质量处处长。2007年9月起任所长助理。2008年7月起任副所长。

王跃林同志

王跃林，男，汉族，江西南昌市人，1959年出生，1978年3月参加工作，博士研究生毕业。1978.3－1978.10南昌市新建县松湖公社港北大队知青；1978.10－1982.7浙江大学无线电系半导体专业读本科；1982.9－1985.7哈工大控制系半导体专业硕士研究生；1985.8－1998.1浙江大学信电系讲师、副教授、教授、博导（其中：1986.3－1989.10在清华大学微电子所读博士学位、1995.3－1995.12在香港科大访问研究、1996.1－1996.12在日本东北大学访问研究）；1998.1－至今上海微系统所研究员、博士生导师、室副主任、主任，所“微光机电系统”项目经理、国家“973”计划《集成微光机电系统研究》项目的首席科学家，99年10月起任所长助理，2003年6月兼任所学术委员会主任，2003年3月分别任上海市政协委员、长宁区政协副主席。

传感技术联合国家重点实验室与微系统技术国家级重点实验室

传感技术国家重点实验室经国家计委批准于1987年成立，1989年由计委组织专家验收。1993年和1997年由国家自然科学基金会组织专家进行过二次评估。实验室主任中科院上海冶金所研究员杨根庆，学术委员会主任中科院电子学所所长、研究员朱敏慧。实验室学术委员会由中国传感技术领域中知名专家学者18人组成。

实验室由南北两个基地及四个专业点组成。南方基地依托单位为中科院上海冶金研究所，北方基地依托单位为中科院电子学研究所，四个专业点分别是光传感器专业点（设在中科院上海技术物理研究所）、厚膜传感器专业点（设在中科院合肥智能机械研究所）、气敏传感器专业点（设在中科院半导体研究所）、生物传感器专业点（设在中科院微生物研究所）。实验室固定人员38名，其中高级研究人员24人，中级研究人员7人，技术人员5人，管理人员（兼职）2人。

信息功能材料国家重点实验室

信息功能材料国家重点实验室依托于中国科学院上海微系统与信息技术研究所，是经国家计委批准于1991年利用世界银行贷款建立的，1995年6月通过国家验收，1998年在国家计委委托中科院进行的评估中被评为优秀实验室，2003年被评为良好实验室。

信息功能材料国家重点实验室主要围绕信息的获取、转换、处理和存储等国际科技前沿并结合国家战略需求，研究和发展新型结构信息功能薄膜材料及其制备新技术和新方法，开展信息功能薄膜材料的电学、光学、磁学和结构特性等基本问题及其器件应用的研究。现任实验室主任为曹俊诚研究员，学术委员会主任为王占国院士。

实验室现有固定人员42名，其中院士1名，研究员17名，副研究员15名；有国家杰出青年基金获得者3名，中科院百人计划入选者6名；另有在读博士生和硕士生约64名。

目前实验室主要研究方向：

（1）化合物半导体微结构材料、器件及应用。主要研究分子束外延（MBE）量子阱和量子级联激光器材料与器件、光电探测器材料与器件、微波毫米波器件与电路用异质结构材料、宽禁带半导体材料与器件等。

（2）绝缘层上硅（SOI）材料与应用。主要研究SOI材料的制备和表征技术，基于SOI技术的器件和电路设计，SOI技术在低压低功耗、MEMS、高温、高压以及抗辐射领域的应用等。

（3）太赫兹物理与器件。主要研究太赫兹（远红外）半导体激光器、探测器物理、器件及其在通信与成像等领域的应用；低维半导体输运；半导体器件模拟及软件设计等。

（4）相变存储器（PC-RAM）材料与器件。主要研究相变材料、相变机理、高速CMOS衬底材料、纳米加工工艺集成、PC-RAM芯片设计与制作技术等。

（5）光子晶体物理与器件。主要研究非线性光子晶体和超快器件、光子晶体和无序体系中的激光现象、特异介质中的相干性研究、光和波色爱因斯坦凝聚体的孤子物理等。

（6）超导应用。主要研究基于超导量子干涉器件的微弱磁场探测技术与应用，包括生物磁信号、低场核磁共振等。

实验室拥有分子束外延、超高真空电子束镀膜、准分子激光沉积、氢化物气相外延等大型薄膜材料制备系统，SOI材料制备与测试系统，THz器件测试系统，PC-RAM材料制备与测试系统，超导测试系统，有X射线衍射、傅里叶变换光谱、霍尔测试、电化学C-V、原子力显微镜、半导体参数测试仪等分析表征设备和器件制作工艺线。

实验室已在半导体输运理论、化合物半导体微结构材料与器件、绝缘层上硅（SOI）材料与技术、太赫兹物理与器件和PC-RAM材料制备等方面取得了多项创新性研究成果，先后获得国家级和省部级自然科学奖和科技进步奖20多项，其中“高端硅基SOI材料研究和产业化”获得2006年国家科技进步一等奖，“半导体输运的平衡方程理论”获得1995年国家自然科学奖二等奖。

存储转发通信小卫星系统

1．简要背景

低轨道通信小卫星是二十世纪九十年代世界卫星技术发展的热点之一。“创新一号存储转发通信小卫星系统”是中科院根据国家未来星地通信技术发展需求而确立的重大科研项目，其目标是自主研制中国首颗重量在100公斤以下的低轨道数据通信小卫星及其通信系统，主要研制任务由研究所和上海技术物理所等单位承担。项目从1999年3月正式开展研制，2003年10月成功发射入轨并正常运行至今。这是中国研制成功的第一颗具有自主知识产权的存储转发通信小卫星，为中国发展微小卫星事业提供了宝贵经验。该项目2004年12月荣获上海市科技进步一等奖。

2．取得的进展和突破

“创新一号”卫星采用主动磁控加重力梯度杆的三轴稳定姿态控制方式，具有高的功能密度比，采用测控信道与通信业务信道共用卫星全自主运行模式设计，解决了多项关键技术，如低轨道扩频通信技术、以主动磁控为主的三轴稳定姿态控制技术，星上定轨、轨道预报和卫星自主运行管理，部分硬件功能的软件化实现等，并在微小型化卫星通信终端技术等方面有新的突破和发展。微小型化卫星通信终端的研制是卫星实现移动通信的关键技术之一，“创新一号”卫星的地面通信终端重量仅为200多克，采用软件无线电技术，抗干扰性强，具有星历预报、定时收发等功能。

3．成果应用

卫星发射入轨后的运行期间，进行了大量的应用试验，试验结果表明，卫星通信系统具有非常好的通信能力。“创新一号”卫星成果通过专家鉴定，认为其技术已达到同类卫星的国际先进水平。

无线传感网

1．简要背景

无线传感网是集分布式信息采集、信息传输和信息处理技术于一体的网络信息系统，以其低成本、微型化、低功耗和灵活的组网方式、铺设方式以及适合移动目标等特点受到广泛重视，是关系国民经济发展和国家安全的重要技术，被公认为将是未来改变人们生活的十大技术之首。

无线传感网被中科院列为重点发展方向之一，院微系统中心依托我所于2001年根据YH要求，联合YH共同完成微型化传感网总体方案设计，并作为中科院二期知识创新工程项目，开展MEMS传感器、无线传感网络、系统仿真、系统集成和技术演示等研究。

2．取得的进展和突破

采用微小型化、系统一体化设计理念，将先进电路设计手段、微系统技术、微传感技术、扩频宽带通信技术、多传感信息融合技术相互结合，进行传感网系统研究，取得了如下突破和进展：

1)研制成功各种适合不同使用环境的无线监控网络：

●窄带无线传感网

●窄带无线自适应选频传感网

●GST高速无线扩频传感网

●基于LINUX的GPRS无线传感接入网

实现了无线传感网与卫星网络如铱星、创新一号微小卫星互联互通，还实现了与公共网络如因特网、电信网、移动网络、无线局域网等的无缝连接。在信息处理方面，形成了包括模式识别、信息融合、综合处理、智能决策在内的完整的信息处理体系。

2）研制出系列单机（微型化端机）主要包括：

●窄带无线传感微网端机

●窄带自适应选频无线传感微网端机

●CDMA扩频无线传感网端机

3．成果应用情况

2004年9月，在北京举行了无线传感网的演示试验，中科院、科技部、信息产业部以及YH部门的领导现场观看了演示，并对演示成果和研究所在该领域国内领先地位给予了充分的肯定。

承建了宁波北仑区的综合传感网工程，其中市政监控传感网、环保传感网、水利传感网已建成并投入使用，全覆盖传感网项目正在实施中；嘉兴航运传感网系统示范工程已投入使用，整体项目在实施中。上海浦东机场二期建设电子围界、上海智能交通数据采集示范网、上海市容环卫监控示范工程等传感网项目正在规划和实施中。

无线传感网研制的阶段性成果，不仅使中科院在这一领域处于国内领先的地位，而且对国家安全、反恐、社会生活、经济发展等领域具有重要的战略意义和现实意义。

中国科学院植物研究所	中国科学院声学研究所	中国科学院金属研究所
中国科学院数学研究所	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	中国科学院微电子研究所
中国科学院生物物理研究所	中国科学院山西煤炭化学研究所	中国科学院高能物理研究所
中国科学院上海硅酸盐研究所	中国农业科学院北京畜牧兽医研究所	七二五所
北京生命科学研究所	中国科学院南京地质古生物研究所	中国科学院沈阳自动化研究所
北京机械工业自动化研究所	中国科学院微生物研究所	上海社会科学院历史研究所
中国科学院有机化学研究所	中国科学院合肥智能机械研究所	中国科学院自然科学史研究所
上海电器科学研究所	中国科学院成都生物研究所	中国科学院固体物理研究所
中国科学院武汉岩土力学研究所	天津市医学科学技术信息研究所	环境保护部南京环境科学研究所
中国科学院上海细胞生物学研究所	中国科学院武汉病毒研究所	中国科学院南京地理与湖泊研究所

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