中国科学院光电技术研究所
中国科学院光电技术研究所(简称光电所)始建于1970年,是中国科学院在西南地区规模最大的研究所。1999年进入科学院知识创新工程试点,2006年进入创新三期,并被评估确定为科学院A类(优秀)研究所。
光电所现有在编职工1200余人,其中中国工程院院士2人,四川省学术技术带头人14人,高级科技人员260人。全所设有“光学工程”博士后流动站,设有“光学工程”、“信号与信息处理”、“测试计量技术与仪器”3个博士学位授权点,“光学”、“光学工程”、“机械制造及其自动化”、“精密仪器及机械”、“测试计量技术及仪器”、“物理电子学”、“信号与信息处理”、“检测技术与自动化装置”、“计算机应用技术”等9个硕士学位授权点(涵盖8个一级学科)。在读研究生300余人。
光电所以国家需求为牵引,面向世界光电科技领域发展前沿,重点开展光电工程应用基础性、前瞻性的高技术研究与系统集成创新研究。建有国家863计划光束控制重点实验室、863计划自适应光学重点实验室和国家唯一的微细加工光学技术国家重点实验室。主要研究领域包括:光束控制、自适应光学、天文目标光电观测与识别、光电精密跟踪测量、微光学及微电子光学、先进光学制造、生物医学光学等,目前承担有国家863、973、自然科学基金、部委重大重点项目及企业委托开发项目研究,研究水平居国内领先或国际先进。
建所以来,光电所在自适应光学、光束控制、应用光学等领域取得了多项重大成就,先后取得包括国家科技进步特等奖在内的500余项科技成果,申请专利380余件,授权专利180余件,发表论文3100余篇。与此同时,广泛开展国内外学术交流与合作,促进高新技术项目的产业化。
光电所高度重视人才队伍建设,坚持“事业育人、环境引人、待遇激人”,坚持“在公平竞争中识别人才,在创新实践中培育人才,在事业发展中凝聚人才,在工作生活中爱护人才”,努力营造各类人才脱颖而出的政策环境。吸引、培养、稳定了一支以国内知名学者为核心,以中青年技术及管理专家为骨干的创新人才队伍。
在新时期,光电所坚持“国家重大创新项目牵引,科研产业共同发展,建立现代研究所”的办所方针,与时俱进、开拓创新,努力建设成为国内领先的国家战略科技力量和国际著名研究所,为国民经济建设不断做出基础性、前瞻性的重大创新贡献。
※ 所长:
张雨东(所长研究员四川省政协副主席)
负责领导研究所全面工作。主持所务委员会;负责全所发展战略规划的制定和实施;负责全所综合计划和财务管理,负责综合处所长办公室、财务处管理工作。
※ 党委书记:
陈胜利(党委书记高级工程师)
负责分管人事教育、离退休管理、安全保卫与保密、信息宣传、档案管理工作;分管人事教育处、安全保卫办公室管理工作;协助所长协调机关处室工作。
※ 副所长:
杨虎(副所长党委副书记研究员)
负责分管科技发展战略规划和全所科研管理工作;分管科技处管理工作;分管科研一部、科研二部的组织协调工作。
※ 副所长:
魏全忠(副所长研究员)
负责分管所产业发展战略规划和产业结构改革调整工作;分管所地产业合作及与五粮液集团的合作;分管四川科奥达公司(含物业管理服务公司)管理工作。
※ 副所长:
许冰(副所长研究员)
负责分管国有资产管理、技术平台建设、科技外事工作;分管部分学科领域科研工作和民品科研管理;分管资产管理处管理工作。
※ 副所长:
范天泉(副所长研究员)
负责分管质量管理、园区基本建设工作;分管研究生教育、公共公益事业管理工作;分管质量管理处、职工医院、子弟学校管理工作。
管理机构
综合处
综合处是在所长和党委书记的领导下负责全所综合计划、综合统计、行政管理、综合档案管理、党群系统管理和全所安全工作的职能部门。综合处由所长办公室、党群办公室和安全保卫办公室组成。所长办公室是负责所领导文秘、综合计划、综合档案、公共关系等工作,对全所各项工作进行宏观协调、管理与服务的综合办事机构。党群办公室是我所党委、纪委、团委、工会的日常工作机构,由党委办公室、纪监审办公室、工会组成。安全保卫办公室是在所长领导下负责治安、消防、国家安全、技术安全、职业健康与劳动保护、环境保护的职能部门,是公安机关在我所的基层组织。
科技处
※ 科技部一部主任(科技处处长):
杨文淑(研究员)
※ 科技部一部副主任(科技处副处长):
李声(研究员)
科研一部主要由从事应用基础研究和高技术创新研究的国家级重点实验室以及从事光电工程系统研制的研究室组成。建有微细加工光学技术国家重点实验室、国家863计划自适应光学重点实验室、国家863计划光束控制重点实验室及光电工程、应用光学、电视应用技术、光电探测、光电精密测试、光电传感技术、薄膜光学技术等十个研究室。科研一部机关与科技处合并办公,在所长直接领导下组织实施我所科研计划和科技管理的一个主要业务部门。科技处下设计划科和科管科,负责全所高技术创新研究项目、院重大项目、国家攻关项目等组织落实与实施。
●应用基础与创新研究>
◆微细加工光学技术国家重点实验室
◆国家863计划自适应光学重点实验室
◆国家863计划光束控制重点实验室
●高技术研究与重大工程创新项目研究
◆光电工程总体研究室 (一室)
◆光电探测技术研究室 (三室)
◆微电子专用设备总体研究室 (四室)
◆电视应用技术研究室 (五室)
◆光电传感技术研究室 (六室)
◆光电精密测量研究室 (七室)
◆自适应光学研究室 (八室)
◆薄膜光学研究室 (十一室)
◆微细加工光学技术国家重点实验室
◆国家863计划自适应光学重点实验室
◆国家863计划光束控制重点实验室
人教处
人事教育处:光电技术研究所的人事教育行政职能管理部门,主要负责全所的的人力资源开发与管理、研究生培养和离退休人员管理等工作,下设人力资源办公室、研究生部、离退休办公室。
人力资源办公室:主要负责人员招聘、劳动关系管理、员工培训、薪酬福利、绩效考核、人事调配等工作。
离退休办公室:主要负责全所离退休人员的管理、全所丧葬、抚恤等有关工作。
研究生部:主要负责研究生(硕士、博士、工程硕士)的招生、培养、就业、日常管理和研究生导师管理等工作。
财务处
财务处是在所长的领导下负责按照国家和中科院财经政策做好全所经济管理、执行财务制度,合理用好用活各项资金的职能部门。
质量处
质量管理处是在所长领导下独立行使质量管理职权的职能部门,负责质量、计量、标准化管理和项目质量控制,负责质量方针、质量目标的贯彻和进行质量策划、质量控制、质量保证和质量改进。主要职责包括:按照所的质量方针和中长期质量目标,负责组织建立、实施、保持和改进质量管理体系;负责年度质量工作计划的制定和年度质量目标的分解落实;负责产品质量管理和质量控制;负责全所计量器具检定和计量测试管理;负责全所标准化、标准资料管理;负责产品质量检验的组织和实施。
质量检验中心是全所负责产品质量检验和计量器具检定的技术业务部门,主要包括计量检定室、精密零件检验室、总体检验室、化学分析室、环境条件试验室等。现有专职检验员20名。其中,角度检测技术处于国内领先水平,长度检测技术在西南地区处于领先水平。质量检验中心在完成检验检定任务的同时进行测试计量技术研究。获实用新型专利4项;有1项科研项目获中科院科技进步二等奖,3项获中科院科技进步三等奖,1项获中科院自然科学奖三等奖;发表科技论文50多篇;负责完成3项国家计量检定规程/技术规范的起草工作和2项国家标准起草工作。
质量管理处与质量检验中心合署办公。
光电所质量方针:
不断创新,精心研制光电产品;持续改进,全力满足各方要求
光电所中长期质量目标:
1)确保质量管理体系持续有效运行,并不断改进完善;
2)最终产品质量满足规定要求,综合技术水平达到国内外先进;
3)重大项目(产品)研制一次成功,出所验收(鉴定)一次通过;
4)顾客满意度>90分。
中国科学院成都几何量及光电精密机械测试实验室
中国科学院成都几何量及光电精密机械测试实验室于1996年经中国科学院批准建立(科发计字[1996]0490文),1996年11月27日通过国家计量认证(证书编号:97量认国字Z1585号),2002年3月11日通过计量认证复评认证(证书编号:2002量认国字Z1585号),是可向社会提供公证检测数据的国家级产品质量检验机构。
该实验室通过计量认证的检测范围包括3大类10余种参数:
长度类:①0-30m的位置误差;
②0-1.5m长光栅尺及光栅传感器的位置误差;
③0-1m长度值的检测;
④光栅线位移传感器、光栅线位移测量系统、数显测高仪和测微仪的定型鉴定及样机试验。
角度类:①0-360°各种角值及仪器的检定;
②度盘、光栅盘的位置误差;
③光电轴角编码传感器、分度台和自准直仪的定型鉴定及样机试验。
光学类:①光学零件的几何量:面形误差(球面、平面)和楔角;
②光学系统光特征参数:焦距、视场和放大率等;
③光度性能:透过率、反射率、照度均匀性和杂(散)光系数;
④象质:分辨力、几何象差和光学传递函数实验室.现有设备34台套,其中有多台仪器设备为国内领先水平,主要包括:三坐标测量机、数显光电自实验室现有设备34台套,其中有多台仪器设备为国内领先水平,主要包括:三坐标测量机准直仪、激光数字干涉仪(立式、卧式)、光学传递函数测量仪、轮廓仪(非接触式)、数显测高仪、双频激光干涉仪、码盘检验仪等。
实验室现有检测人员20人,其中研究员3人,高级工程师5人,硕士以上6人。实验室角度、光学精密测试技术处于国内领先水平。
该实验室成立以来,先后为清华大学、四川大学、北京理工大学、中国工程物理研究院、西南技术物理研究所、成都飞机工业公司、航天8358所、成都质量技术监督局龙泉驿分局、成都精密光学中心、成都科仪中心等多家单位提供检测技术服务。
科研一部主要由从事应用基础研究和高技术创新研究的国家级重点实验室以及从事光电工程系统研制的研究室组成。建有微细加工光学技术国家重点实验室、国家863计划自适应光学重点实验室、国家863计划光束控制重点实验室及光电工程、应用光学、电视应用技术、光电探测、光电精密测试、光电传感技术、薄膜光学技术等十个研究室。科研一部机关与科技处合并办公,在所长直接领导下组织实施我所科研计划和科技管理的一个主要业务部门。科技处下设计划科和科管科。
●应用基础与创新研究
◆微细加工光学技术国家重点实验室
◆国家863计划自适应光学重点实验室
◆国家863计划光束控制重点实验室
●高技术研究与重大工程创新项目研究
◆光电工程总体研究室 (一室)
◆光电探测技术研究室 (三室)
◆微电子专用设备总体研究室 (四室)
◆电视应用技术研究室 (五室)
◆光电传感技术研究室 (六室)
◆光电精密测量研究室 (七室)
◆自适应光学研究室 (八室)
◆薄膜光学研究室 (十一室)
●部门领导
※ 科技部一部主任(科技处处长):杨文淑(研究员)
※ 科技部一部副主任(科技处副处长):李声(研究员)
光电工程总体室
光电工程总体室即与国家863计划光束控制重点实验室同室,是1997年开始筹建,1999年成立并进入科学院知识创新工程试点。实验室以光电所雄厚的光电技术为基础,开展光束控制技术的应用基础研究、应用研究和高技术创新工作,同时加强技术储备并建设一支高水平跨世纪的科技队伍,目标是建成国内一流光束控制研究中心。
人员结构与人才培养
※实验室主任:马佳光研究员
※实验室副主任:陈洪斌研究员
※目前,该实验室固定科技人员50名,流动人员约50人。在已招聘的41名固定人员中,院百人计划入选人员1人,研究技术人员41人,平均年龄35.73岁,45岁以下占82.9%,55岁以下占90.2%。流动人员包括约20余名参加实验室工作的研究生,固定人员中留有7个名额作为引进优秀人材和配备2名必要的辅助人员。 目前,实验室具有光学工程博士点1个,光学工程、物理电子学、检测技术与自动化装置等3个硕士点,光学工程博士后流动站1个。
光电探测技术室
主任:高晓东研究员博士生导师
副主任:吴钦章研究员博士生导师
光电探测技术研究室现有正式职工42人。其中研究员4名,副研究员5名,助理研究员和工程师12名,研究实习员17名,在职职工中硕士16名,博士9名。
该室主要研究方向是光电系统集成技术、数字图像处理技术、高速图像数据记录技术、光电探测技术和计算机应用技术等多门学科。
承担了863信息领域面阵CCD数字航测相机系统研制和大面阵彩色CCD数字航测相机系统研制等航空遥感测量项目的研究。同时第三研究室还以863技术研究的成果为基础,承担了多项工程光电测量系统的研制工作。
在人才培养方面,近两年来新招硕士、博士生24人。
硕士生导师:
马文礼:研究员,主要从事光机结构和光电工程总体集成技术研究。
杨世洪:研究员,主要从事先进光电探测技术与传感器应用技术研究。
虞乃君:副研究员,主要从事计算机应用技术研究。
苏海冰:副研究员,主要从事图像获取与处理技术研究。
微电子设备总体室
我室的主要学科方向为微光学与微电子光学设备。微光学与微电子光学设备是中国科学院光电技术研究所的重点研究学科之一,二十多年来坚持不懈,瞄准世界技术前沿开展新理论、新方法、新技术等前瞻性创新研究,在微细加工光学技术与装备研制方面不断迅速拓展,培养和造就了一支从设计、工艺、加工、装调检测技术结构合理的科研队伍。具有光、机、电技术的综合科研优势和配套完善的开发、制造与检测能力,为完成国家重大工程和产品研发提供有力有保障。先后研制完成了“1.5~2μm实用型分步重复投影光刻机”、“0.8~1μm分步重复投影光刻机”、“0.7~0.8μmi线投影曝光系统”、“0.35μm投影光刻关键单元技术研究”等国家科技攻关及中国科学院重大项目11项,其中获国家科技进步奖2项、国家新产品奖1项、院(省、部)科技进步奖10项,国家专利40余项。
我室近期研发的URE—2000型系列i线深度光刻机,单、双面光刻机,不断在关键技术上取得创新与突破,尤其在深度光刻中具有特色,对开展微电子,微光学、微机械系统、光电器件、准LIGA及声表面波等器件的研制和生产深层光刻器件具有突出的功能和用途,受到国内、外众多用户的青睐和赞赏。在中国科学院知识创新工程的支持下,在国内创新研发的生物芯片检测仪器——激光共聚焦生物芯片扫描仪、CCD生物芯片检测仪等多项生物芯片检测前沿技术成果,先后取得了多项创新成果和专利,使得我国生物芯片仪器研发整体水平步入国际先进行列。该成果产业化已初见成效,目前已形成小批量商品化生产能力,成为目前国内研制生物检测仪器种类最全、品种最多的研发单位,受到社会的广泛关和欢迎。
光电探测与信号处理
光电探测与信号处理研究室是中国科学院光电技术研究所的第五研究室。
人员结构与人才培养
我室现有职工33人,其中研究员3人,副研究员11人,中级研究人员12人,具有硕士以上学历的12人;全室在读研究生18人,在读博士生8人。
目前,我室具有光学工程博士点1个,信号与信息处理、物理电子学2个硕士点,光学工程博士后流动站1个。已经培养出博士生2名,硕士生11名,博士后出站一名。
室结构及研究内容
我室的研究与开发力量由:图像处理组、DSP技术组、光电探测组、研究生组、电器装配组五个专业组构成。
在科研开发中,我们形成了自己的特色与优势技术。主要有:
*高帧频、高精度测量技术;
*高速多功能处理平台开发技术;
*嵌入式、模块化数字处理单元技术;
*高速数字图像无损记录技术;
*数字图像实时仿真技术;
*算法实时仿真技术。
导师介绍
张启衡,男,研究员,博士生导师,现任中国科学院光电技术研究所第五研究主任、国家某重点实验室责任研究员、四川省电子学会光电子专业委员会副主任。1977年毕业于成都电子科技大学电视专业,1986-1987年前往美国迈阿密大学进修。主要研究领域为目标探测与信号处理。
王敬儒,男,研究员,博士生导师,1967年毕业于成都电讯工程学院(电子科技大学)无线电通信专业。1983-1999年任中国科学院光电技术研究所电视应用技术研究室副主任、主任,光电工程编委,所学位评定委员会委员、所经济技术评审委员会委员,中国电子学会会员,中国生物医学工程学会会员,四川省光电技术教授级咨询师。研究领域为光电技术及其应用,主要内容包括光电探测、信号检测、数字信号处理、数字图像处理等。
光电传感技术
第六研究室现有正式职工38人,其中研究员3名,副研究员及高级工程师11名,助理研究员及工程师13名。
第六研究室长期从事光电传感与精密测试技术的研究、开发及分划元件制造。其成果和技术广泛应用于电子、机械、化学、化工、能源、交通、生物、医学、航空航天以及日常生活各领域。与此同时,基于光电传感技术而开发的各种转台、编码器等系列产品,已成功应用于现代经济各部门。取得了良好的经济效益和社会效益。目前,该室的技术与成果已处于国内领先水平。
该室目前从事的主要研究工作为:
一 各种自制精密测试设备
1.JC-1精密测角仪:为上世纪80年代研制的高精度测角仪器,曾荣获中科院科技进步奖二等奖,至今仍为国内最高水平,可作国家基准,其动态瞄准精度达0.025”,测角准确度为±0.1”。
2.MJ-50码盘自动检查仪与上世纪80年代研制成功,并获得中科院科技进步奖一等奖,它能对?50-?500的各种光栅、码盘进行自动检测,其精度为中误差<0.2”。
3.CD-50光电圆刻线机为自动刻划设备,中误差<0.2”,它的各种性能指标与国外同类进口设备相当,可完全代替进口。曾获国家新产品金龙奖。
4.1.8M双频激光定位长栅刻划与检测装置我国能够自主自动刻划并检测长光栅的高精度刻划检测设备,它于上世纪90年代初研制成功,其刻划精度达0.6μm/1.5M。
二 高精度编码器
GBZ/GBJ系列编码器是光电所的拳头产品,理想的测角元件,其测角精度最高达3σ=0.2”,测角分辨率为360?/226,其光栅盘外径达?410,精度3σ<0.1”,为国内最高水平。
三 精密转台
结合光电传感技术研制的精密测试转台,从一维二维到三维,测量和定位最高精度达到0.3”(3σ)。
四 模拟器测试设备
在各种模拟测试设备方面,应用光、机、电、计算机综合技术,先后研制过太阳模拟器、地球模拟器、月球模拟器等设备,各方面性能均满足用户需求。
自适应光学实验室
自适应光学实验室与国家863计划自适应光学重点实验室同室,前身为1980年光电所在中科院支持下于国内率先成立的自适应光学研究室,实验室于1995年发展为国家863计划自适应光学重点实验室(即“国家八六三计划大气光学重点实验室”自适应光学部分),1999年进入科学院知识创新工程试点,是国内唯一从事自适应光学实用系统研制及新技术研究的实验室。
人员结构与人才培养
※实验室主任:姜文汉院士
※实验室副主任:张雨东研究员
※目前,该重点实验室科技人员40人。其中中国工程院院士1人,博士生导师3人,中科院百人计划1人,研究员7人,副研究员12人,助理研究员及工程师、实验师12人。博士及在职博士生7人,平均年龄36岁,40岁以下青年科技人员占84%,是一支以年轻人为主体、结构合理、层次较高的研究群体。目前,该实验室拥有光学工程硕士点、博士点、博士后流动站各一个。
实验室结构及研究内容
该实验室按技术领域分工,各有侧重,研究方向与内容密切相连,由4个研究组组成。即:激光大气效应校正研究组、能动光学器件和波前校正器研究组、惯性约束聚变光束控制研究组、高分辨率自适应光学望远镜研究组。
(一)激光大气效应校正研究组主要研究大气对激光传输的影响,研制用于校正大气湍流效应与热晕效应的自适应光学系统。
(二)能动光学器件和波前接征器研究组主要研制应用于各种系统中的能动光学器件,并开展新型波前校正器、能动光学器件和驱动精密定位技术研究,同时积极探索自适应光学系统小型化的关键技术与工艺,向国民经济领域和其他科研领域拓展。
(三)惯性约束聚变光束控制研究组主要针对惯性约束聚变系统需要提高光束质量的要求,对聚焦光斑进行控制和校正,研制用于ICF光束控制系统。
(四)高分辨率自适应光学望远镜研究组着眼于天文观测及自然星体等需要,研制能在可见光与红外波段对自然星体等进行高分辨率成象观测的自适应光学系统。
学术交流与合作
实验室坚持“开放、联合”的方针,积极开展各种学术交流,特别是在天文和眼科自适应光学,加强与国内外学术交流与合作。1996-1998年在各类刊物上发表论文52篇,国际会议发表文章11篇。在共同完成国家重大项目任务中,实验室与中科院安光所、大连化物所、上海光机所、北京天文台及云南天文台,以及中国工程物理研究院等有良好的学术交流和合作关系,促进了研究水平的提高。每年派出2-3名科技人员参加SPIE、ICO等国际学术会议,或选派科技人员到国外进修深造,了解国外在自适应光学领域最新动态。注重吸引国内外高水平专家来实验室讲学和开展合作研究。在国内,与兄弟院所、研究室开展实质性的合作研究与联合创新,优势互补,务求实效,已经取得或将要取得一批重要创新成果。
科研成果
近二十年来,实验室先后研制成功19单元、21单元、37单元、61单元等多代具有国际先进水平的自适应光学系统,并成功应用于惯性约束聚变、大气激光传输校正、人眼视网膜成像检查等国家863重要领域和重大科学工程任务。标志我国已经全面掌握这一重要技术。
在国家863项目支持下,该实验室进一步调整了学科方向,明确了优势领域,加强了实验室建设,短短几年内取得一系列高水平、高显示度的科研成果。获得多项科技进步奖,仅从93年以来的7年间,该实验室获得13项高等级成果奖,其中国家科技进步二等奖3项、三等奖3项,中科院科技进步特等奖1项、一等奖5项,国家部委级科技进步一等奖1项;1996-1999年申请专利9项,授权专利2项。取得一系列富有特色的高水平创新成果,形成自适应光学、能动光学器件、纳米级微驱动定位技术三个具有特色的研究方向,是国内自适应光学领域研究水平领先、在国际上也居前列并具有重要影响的实验室。并因其建立了国际上也不多见的从器件研究到系统研制的全面基础技术,拓展了从天文观测到大气激光传输校正等广阔的应用领域,被国外同行称为“世界上规模最大的自适应光学技术研究群体”。
实验室发展目标
按照科学院知识创新试点的要求,该实验室将逐步建立创新体制和联合、开放、竞争、流动的的机制,增加活力,形成立足需求、不断创新、滚动发展的良性循环,争取在激光大气效应校正、惯性约束控制、天体高分辨率观测、能动光学器件等方面取得一系列突破。积极开拓新理论、新方法、新技术的研究和新器件的研制,培植和发展新的学科生长点,增强技术储备,开拓新的应用领域。继续保持实验室国内领先,国际前沿的地位。
薄膜光学实验室
薄膜光学技术是我所的重要单元技术之一,也是激光技术和现代通讯技术发展不可缺少的技术基础。过去的30年中,经过几代人的不懈努力,我所的薄膜光学技术从无到有,从小到大,逐渐发展壮大起来。特别是近几年来,在中科院知识创新工程的支持下,我所薄膜光学专业和薄膜光学技术研究室都取得了长足的进步,逐渐发展成为在科学院内具有一定影响力、在国内具有较强竞争力的、以激光薄膜元件制备和应用研究为主要特色的研究室。其影响力和竞争力主要体现在以下几个方面:
※首先由于薄膜光学技术研究室属于国家863计划光束控制重点实验室的一部分,是我所第一批进入中科院知识创新工程试点单位之一,随后又顺利的进入第二期创新。因此,在科研条件和科研经费上得到了创新工程的有力支持,硬件设施得到了极大的改善。在过去5年中,采取自主设计组建和从国外引进相结合的方式,先后建立和引进四套镀膜系统和三套薄膜参数测试系统,其中,2001年建成并投入使用的ZZS2200镀膜系
统是目前国内最大的箱式镀膜机。同时,我们的制备技术也从过去单一的真空蒸镀,逐渐形成了现在的电子束蒸发、离子束辅助沉积以及离子束溅射等多种先进沉积技术。目前,我室拥有各种大型镀膜系统9套,大型测试装置8台套,初步形成了光学薄膜元件研究与发展的技术平台。
※ 其次,在科学院创新工程的支持下,薄膜光学技术研究室的人才结构有了很大的改善。过去,由于历史的原因,从事薄膜制备的大多是一般的技术工人。人们也往往将薄膜制备技术简单地称之为镀膜,而忽略了它的研究功能。经过近5年的发展。目前,薄膜光学技术研究室有硕士5人、博士5人,科学院百人计划1人,共占在编人员的50%,人员组成结构和学历层次日趋合理。
※第三,在科研项目和任务方面,由于得到了国家863发展计划和国家重大预研项目以及科学院知识创新工程的资助,科研项目和任务一直处于比较饱满的状态。正是在这些具有相当挑战性的科研项目和任务的推动下,我们才有了不断进取的动力。一批具有一定影响力的技术创新成果涌现出来。例如,我们在国内首次开发出了离子束溅射镀膜机的行星转动系统,同时也是国内第一个将离子束溅射技术成功地用于制备大面积、高反射率、高损伤阈值、低畸变、低吸收损耗薄膜元件的单位。
※光学薄膜专业是一个多学科综合交叉的专业,研究领域非常广,涉及到诸多物理问题和技术问题,既具有非常强的基础研究特色,又具有很强的产业背景。薄膜光学技术研究室现有博士生导师3名,硕士生导师3名,面向全国招收光学工程、计量测试专业的博士和硕士研究生,并欢迎相关专业的博士后、客座教授(研究员)等流动科研人员来我室工作。
科研二部是我所承担科研试制加工任务的重要技术支撑部门,下设精密机械制造中心、先进光学研制中心、光学工程总装中心、质量检测与计量中心、科技信息中心、物质供应中心,具有光学、机械加工及装配、检测能力,并向全所提供科技信息和物资供应服务。建所以来出色完成了我所承担的所有重大科研项目的试制加工任务,并充分发挥配套齐全的生产制造与设计开发能力,积极开展与所外单位的科技开发合作。
科研二部具有承担各类精密光学机械制造的能力,配备有门类齐全的机械加工设备及进口高精度光学坐标镗床、高精度车床、各类磨床及数控加工中心等设备。通过多年来的工艺研究及技术积累,逐步形成了有特色的精密机械制造平台,多项单元技术处于国内外领先水平。
在光学加工方面,主要从事各类Φ5mm~Φ1600mm平面镜、球面镜、非球面镜和棱镜等高精度光学元件加工,以及各种透光膜、反光膜、折光膜、滤光膜和保护膜等膜系的镀制。拥有激光干涉仪等先进的光学检测设备。
在光学装调方面,科研二部拥有进口的2000MARKIII光学传递函数分析系统、GPI-XP激光数字干涉仪等高精度测试仪器和自制的Φ700平行光管、大型多功能检测架,独创的光学系统定中心方法与仪器、高性能镜头的定心装校技术均处于国内领先水平。可承接各类航空航天镜头及大型精密光刻镜头的光学装校。
经过多年的不懈努力,科研二部在光测设备、半导体设备等大型光学仪器制造技术及大镜面加工技术等方面取得了重大突破,使得光电所成为了我国重要的光学仪器研制基地。
高技术系列产品
※激光空间通讯系统
※高精度中心偏测量仪系列
※0.1"测微自准直仪系列
精密机械加工中心
【机械加工大厂房】
精密机械制造中心是中国科学院光电技术研究所科研创新技术支撑平台重要组成部分,是集精密机械零件制造、装配于一体的主体单位之一。中心共有121人,下设一个计划调度组、一个工艺技术组、加工及钳工装配等七个作业组。工作场地由机械加工大厂房(2900m2左右)和精密零件加工恒温车间(1200m2左右)组成,共有各类设备115台,配备有进口高精度光学坐标镗床,高精度车床,各类磨床及数控铣床等设备,其中德国、瑞士等国进口精密设备8台。技术工艺、加工特长是高精度零件的加工和整机装配,具有很强的承担各类光学精密仪器的研制能力,重点为:精密轴系、高精度箱体、轴、环类和高精密镜头零件的加工。
长期以来,该中心的科技人员和技术工人配合我所各研究室的科研工作,积极开展工艺研究,逐步形成了具有我所特色的多种工艺技术平台。
【精密零件加工恒温车间】
精密机械制造中心是中国科学院光电技术研究所科研创新技术支撑平台重要组成部分,是集精密机械零件制造、装配于一体的主体单位之一。中心共有121人,下设一个计划调度组、一个工艺技术组、加工及钳工装配等七个作业组,共有副高级职称技术人员5人,中级职称技术人员3人,技师6人,高级工人50人,我中心现有大学本科学历人员8人,大中专学历12人。工作场地由机械加工大厂房(2900m2左右)和精密零件加工恒温车间(1200m2左右)组成,共有各类设备115台,其中德国、瑞士等国进口精密设备8台。技术工艺、加工特长是高精度零件的加工和整机装配,重点为:精密轴系、高精度箱体、轴、环类和高精密镜头零件的加工。
【数控龙门铣】
能进行中、大型零件的加工,具有精度高,加工质量稳定等优点。
【轴承环】
加工后的主要精度指标:尺寸70两端面平行度为0.006mm,两端面的平面度均为0.003mm。
先进光学研制中心
先进光学研制中心一直致力于三个技术平台的建立。一是大镜面制造测试技术平台;二是超光滑表面制造技术平台;三是高精度光学系统光学加工技术平台。
※高精度光学系统光学加工技术平台
该平台是在所光刻物镜研制过程中逐步建立起来的。为该平台购置的干涉仪、测厚仪、研制的无变形胶合技术及培养的技术人员和技术工人,使得该平台在国内具有相当的知名度,为我所的光刻物镜及其它高精度光学系统研制做出了较大贡献。对完成λ/20的平球面加工和秒级胶合偏心已具备了人员、设备和技术上的优势。
※大镜面制造及测试技术平台
该平台在人员上已由90年代的2-3个技术人员、2个技术工人发展成现在的十几个博士、硕士和本科生组成的研究群体,8个技术工人组成的加工群体。该群体近几年开展了大镜面制造设备、检验方法和仪器、制造工艺技术的全方位研究,取得了一些有显示度的成就。如:先进数控加工设备,半自动加工机械手,哈特曼测试技术应用于大镜面的检验,补偿器设计和应用,大镜面超光滑表面加工技术等。
※超光滑表面加工技术平台
先进光学研制中心近年来开展了硅、锗、CaF2、ZnS、硒化锌等红外材料和熔石英材料的超光滑表面粗糙度加工工艺技术研究。特别是柱面镜的超光滑表面粗糙度加工水平已是国内最高水平。
光学工程总装中心
光学工程总装中心主要承担我所科研产品的光学总装,并开发研制光学测试仪器。成立30年来,完成电影经纬仪、光刻机、光束控制仪等仪器上百台套;开发研制电仪器装校等方面处于国内领先地位。在红外、微光、激光方面也取得了很大的发展。
质量检测与计量中心
质量是光电所的生命。严格按照ISO9001国际质量管理体系标准进行产品研制与生产。
确定“不断创新,精心研制光电产品;持续改进,全力满足各方要求”的质量方针;建立健全质量管理体系和规范质量管理制度,加强研制生产过程控制,以保证产品质量满足规范或用户要求。
物资供应中心
物资供应中心是研究所科研、试制生产的物资器材支撑部门。设有电子元器件库、光学材料库、电仪(工)库、金属材料库、工具库、化学试剂库及转运服务组,负责全所科研、试制生产的物资供应与服务工作。
物资供应中心从物资的计划、申请、采购、复验、入库、保管、发放全过程严格按照ISO9001质量管理体系标准及管理规定进行管理。库存物量实行计算机信息管理。中心致力于以提供优质、高效的一流服务为宗旨,以信息灵通、业务精通、渠道畅通为工作奋斗目标,努力为科研、试制生产做好物资保障。
ROV-S07小型潜水器
该遥控潜水器美观小巧,响应快速,操控灵活,能潜入水中360度灵活运作,前进速度达25米/分,上浮下沉速度达8米/分,可完成摄像、观察、测量、作业等多项任务。它配备前后两台摄像机、电子水温计、水压计等多个传感器,前端还带有机械手,能根据不同需要扩展功能,适用于核电站、水库、海洋等水下作业环境,具有广泛的市场前景。
URE-2000D型大面积紫外光刻机
用途:在平板显示器、大尺寸光栅、码盘等刻划中具有突出的功能与用途。
技术特点:
◆采用3500W直流高压汞灯;◆采用蝇眼透镜实现高均匀照明;
◆实现超大面积光刻;◆采用CCD自动对准,自动化程度高;
◆性能可靠、操作方便。
主要技术指标:
★曝光面积:430mm×430mm;
★分辨力:3?m;
★对准精度:≤±1?m;
★掩模尺寸:16英寸、17英寸、18英寸、20英寸;
★照明均匀性:±10%(430mm×430mm范围);
★掩模相对于样片运动行程:X:±6mm;Y:±6mm;θ:±6度;
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